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美國MKS INSTRUMENTS電源

美國MKS INSTRUMENTS電源、測量、控制和復雜氣體相關的工藝監(jiān)控技術等改進了設備的完好率和產品成品率,提高了生產產量和產品性能,美國MKS INSTRUMENTS目前產品主要包括:壓力測量和控制系列的電容薄膜壓力傳感器、模擬和數字壓力控制儀器和閥等提供半導體工藝上、下游壓力控制設備;質量流量控制器測量和控制半導體工藝中各種高純度、高精度氣體流量;射頻、直流及脈沖等離子電源、匹配器及測試工具為半導體工業(yè)提供了可靠的固態(tài)電源;STEXI系列產品提供諸如用于工藝腔清潔的ASTRON氟離子發(fā)生器,用于去膠工藝的R*EVOLUTION等離子源,用于CVD、ALD和清洗的SEMOZON氣態(tài)和LIQUOZON液態(tài)臭氧發(fā)生器。
代表型號:621,622A,623A,627B,629B,722A,722B,631C,628,690A,626A,626B,722A,722B,901,912,910,M10B,AX7690,AX3060,AX7610,AX2500,AX2600,AX7670,AX7680,


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